[发明专利]电介质膜、压电元件、液体喷头及其制造方法、液体喷射装置有效
| 申请号： | 200610066947.8 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1840244A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 栗城彰;角浩二;风间宏信;高部本规;野口元久 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D3/00;B05D7/00;H01L41/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 压电 元件 液体 喷头 及其 制造 方法 喷射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电介质膜的制造方法，其特征在于，具有：涂布工序，涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜，其中所述金属有机化合物含有构成所述电介质膜的金属，所述电介质膜至少含有铅成分；干燥工序，对所述介电前驱体膜进行干燥；脱脂工序，对所述介电前驱体膜进行脱脂；煅烧工序，煅烧所述介电前驱体膜以形成电介质膜；其中，所述干燥工序具有：第一干燥工序，将所述介电前驱体膜加热到低于作为所述材料主溶媒的溶剂的沸点的温度并保持一定时间，从而使所述介电前驱体膜干燥；第二干燥工序，在140℃～170℃的范围内干燥所述介电前驱体膜；所述脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，并使升温率为15[℃/sec]以上；所述煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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