[发明专利]液体混合供给方法无效
| 申请号： | 200610065101.2 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1840232A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 张秀逸;崔光一 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/04;B01J4/02 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;张友文 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于制备混合蚀刻溶液的液体混合供给方法，其中将硫酸、过氧化氢、超纯水以及氢氟酸混合到一起。该液体混合供给方法包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ppm单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到混合罐，并使它们混合，其中所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。因为硫酸、过氧化氢以及超纯水的供给起始点互不相同，所以，可最小化由于硫酸与过氧化氢之间的反应所产生的热量。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 混合 供给 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体混合供给方法，包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ppm单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到所述混合罐，并使它们混合，其中，所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。
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