[发明专利]耐久石墨连接器及其制造方法有效
| 申请号： | 200610064742.6 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101085708A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | D·A·隆沃思;T·J·赫尔;陆中浩;刘翔 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50;H01L21/00;H01L21/683;H01L21/687;H05B3/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;范赤 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制品，其包括涂覆有热解石墨(pG)的石墨部件，其相比没有涂覆的石墨部件的机械强度提高至少25％。在用于半导体加工组合件例如加热器的连接器应用中，该pG涂覆的部件被至少罩面涂覆电绝缘材料的保护层，且其中一部分该pG涂覆的石墨部件被暴露(没有涂覆保护层)，以提供到该组合件的电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 耐久 石墨 连接器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体加工环境用组合件的石墨制品，包括：石墨芯，涂覆层，该涂覆层包括平均厚度为0.001”到0.10”的热解石墨，置于热解石墨涂覆层至少一部分上的保护涂覆层，该保护涂覆层包括从B、Al、Si、Ga、难熔硬质合金、过渡金属以及它们的组合中选择的元素的氮化物、碳化物、碳氮化物或氧氮化物的至少一种；以及其中所述石墨制品的拉伸强度比相应的没有热解石墨涂覆层和保护涂覆层的石墨制品的拉伸强度高至少25％。
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