[发明专利]α射线测定装置和α射线测定方法无效
| 申请号： | 200610059888.1 | 申请日： | 2004-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1847884A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 涉谷彻;海原明久 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24;H01L31/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种使用能量分辨率高的半导体检测元件而能以短时间高精度地对由试料放出的极微量α射线进行能量分析的α射线测定装置，由含有多个半导体检测元件的α射线检测器、使各自的半导体检测元件的输出信号相加的加法器、对各自的半导体检测元件的输出信号进行逆同时计数的逆同时计数器、根据未进行逆同时计数的半导体检测元件的相加输出信号分析α射线能量分布的波峰分析器构成。由于使多个半导体检测元件的输出信号相加并扩大测定试料面积的同时也除去背景噪声，所以既能缩短测定时间，又能更高精度地分析α射线能量。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种α射线测定装置，其特征是，包括：α射线检测器，含有多个半导体检测元件；加法器，将各自的半导体检测元件的输出信号相加；和波峰分析器，根据半导体检测元件的相加输出信号分析α射线的能量分布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立制作所，未经株式会社日立制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610059888.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
