[发明专利]检查装置及检查方法无效
| 申请号： | 200610057425.1 | 申请日： | 2006-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1834607A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 糀谷和人;清水敦;田崎博 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01M19/00 | 分类号： | G01M19/00;G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 检查装置及检查方法。本发明的课题是提供可以对应于不良出现的状况变化，进行适当的检查的检查方法。作为解决手段，本发明的检查装置用于执行异常判断，即根据基于从良品中得到的正常数据的模型进行异常判断，具有基于参量判别模型进行良否判断的功能、以及基于非参量判别模型进行良否判断的功能。在可取得的样本数据不够、或者特征空间中的良品的分布形状不稳定、从而正常区域的形状的估计精度不够的阶段中，执行基于双方的判别模型的判断，根据两者的判断结果来进行最终的良否判断。在可取得的样本数据足够、良品的分布或正常区域的形状稳定的状态下，仅基于参量判别模型的判断来执行判断。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查方法，针对所输入的计测数据提取特征量，基于提取出的特征量判断检查对象的状态的良否，其特征在于，所述检查方法根据基于从良品中得到的正常数据的模型来执行良否判断，在可取得的样本数据不足、或者特征空间中的良品的分布形状不稳定、从而正常区域的形状的估计精度不够的状态下的调节阶段中，针对检查对象的计测数据，同时执行基于参量判别模型的判断、以及基于非参量判别模型的判断，根据两者的判断结果来进行良否判断，在可取得的样本数据足够、良品的分布或正常区域的形状稳定的状态下的稳定阶段中，仅根据针对检查对象的计测数据的、基于所述参量判别模型的判断结果来进行良否判断。
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