[发明专利]一种CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置有效
| 申请号： | 200610040862.2 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN100523295C | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 徐锋;左敦稳;郭魂;卢文壮;曾荡;黎向锋 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明针对现有的热丝化学气相沉积(热丝CVD)法金刚石膜沉积系统中衬底温度测量不便或无法动态测量的问题，本发明一种能实时连续测量衬底表面温度分布的CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置，其关键是将回转式衬底工作台改变为摆动式工作台，既保证衬底表面的温度均匀性，又使得热电偶测温变得十分方便，改变传统的热电偶加电刷的结构，可对衬底表面温度进行实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 系统 衬底 电刷 测温 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种CVD系统衬底的无电刷测温方法，其特征是沿衬底工作台径向和/或轴向布置若干热电偶并通过与热电偶相连的导线将热电偶所测得的电信号引出真空室外送至控制系统，同时使衬底工作台与摆动机构相连，使其在摆动机构的带动下作摆动以使衬底工作台上的温度场处于均匀状态，获得最佳的金刚石膜沉积效果。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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