[发明专利]用于聚焦离子束显微镜的样品载体无效
| 申请号： | 200610028946.4 | 申请日： | 2006-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN101105465A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 唐湧耀;裘莺 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;H01J49/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于聚焦离子束显微镜的样品载体，其包括平台和支撑该平台的金属底座，该平台表面开设有一个长方形槽，该长方形槽的至少一个端面设有可调节移动的固定轴，该固定轴的一端连接一个固定样品的金属垫片。本发明可有效地避免或减少在取样时对样品的损伤，并可增大样品的可操作面积。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 聚焦 离子束 显微镜 样品 载体 | ||
【主权项】：
1.一种用于聚焦离子束显微镜的样品载体，其特征在于，包括平台和支撑该平台的金属底座，该平台表面开设有一个长方形槽，该长方形槽的至少一个端面设有可调节移动的固定轴，该固定轴的一端连接一个固定样品的金属垫片。
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