[发明专利]膜层光谱的实时测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 200610028625.4 | 申请日： | 2006-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1877298A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 高慧慧;朱美萍;肖连君;易葵;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置及其测量方法，该测量装置包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机，该计算机有两个RS232标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器，所述的计算机与所述的单色仪和所述的锁相放大器进行通讯，按设定的扫描控制程序采集数据并进行数据处理。本发明可以在线获得已镀膜层在不同波长的透过率，即获得已镀膜层在一定波段范围内的光学特性曲线，由此可预知镀膜效果，从而对镀膜过程进行评价和指导。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 实时 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置，包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机(20)，该计算机(20)有两个RS232标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪(7)，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器(12)，所述的计算机(20)与所述的单色仪(7)和所述的锁相放大器(12)进行通讯，并按设定的扫描控制程序采集数据并进行数据处理。
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