[发明专利]电容式微流体角加速度计无效
| 申请号： | 200610024506.1 | 申请日： | 2006-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1818666A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 吴校生;陈文元;赵小林;张卫平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电容式角加速度计，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上壳体、流体腔室、差分电容动极板、差分电容定极板、下壳体。在流体腔室内充满有大密度液体。当在垂直方向上存在角加速度计时，挡板在密封液体惯性力的作用下产生倾斜，从而通过柔性腔室外壁带动差分电容动极板运动。控制电路检测差分电容的变化量，进而推出外界输入的角加速度数值。整个装置可以采用LIGA/准LIGA工艺及键合工艺进行制作。本发明提出的电容式角加速度计工作在准静态下，有很宽的检测频率范围，还具有很高的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 流体 角加速度 | ||
【主权项】：
1、一种电容式微流体角加速度计，包括：上壳体(1)、流体腔室(2)、差分电容动极板(3)、差分电容定极板(4)、下壳体(5)，其特征在于：流体腔室(2)由腔室内环壁(6)、腔室外环壁(7)以及挡板(10)围成，上壳体(1)和下壳体(5)采用粘结材料固定联接在一起，差分电容动极板(3)通过腔室外环壁(7)联结在下壳体(5)上，差分电容定极板(4)和下壳体(5)固定联接在一起，在流体腔室(2)内充满有高密度的流体。
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