[发明专利]一种电容式微机械加速度计无效
| 申请号： | 200610011959.0 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1844935A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;任杰 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型。质量块中间含有两部分：一部分是弹性支撑，由两组折叠梁构成；另一部分是驱动电极和检测电极，以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块，使加速度高效转化为惯性力，设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
1、一种电容式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极和齿枢，整个结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型；质量块中间是弹性支撑、齿枢、驱动电极、检测电极，弹性支撑由上下对称的两个折叠梁构成，每个折叠梁的一端通过锚点与基片连接，另一端与质量块固连；驱动电极和检测电极以梳齿偏置结构构成差动电容，电容的活动极板与质量块连接，电容的固定极板与齿枢连接。
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