[发明专利]微致动器及其制造方法、光拾取头及其制造方法

摘要

一种微致动器、它的制造方法、具有微致动器的光记录/再现装置的光拾取头、以及它的制造方法。实现了低电压和低能量双向驱动，从而系统的尺寸和重量能被显著地减小并能提高响应速度。通过减小校准公差提高了一致性和生产效率。另外，由盘上的记录层的保护层的不均匀厚度和盘的不均匀平滑度引起的结构公差被校正了，从而物镜的焦点能被最佳地聚焦在盘的记录层上。

主权项

1.具有微致动器的光记录/再现装置的光拾取头，包括：滑块，它具有在其中心部分处整体地形成的聚焦透镜，在聚焦透镜的周围形成的磁场产生线圈和在下表面上形成的空气轴承表面；和用于微致动物镜的物镜微致动器，物镜用于在光轴的方向上将传送/接收单元的光束传送给聚焦透镜；所述物镜微致动器包括：位于滑块的上部的下部基片，在中心部分具有安装孔并在安装孔的内圆周表面具有多个以规则间隔形成的下部固定电极；相应于下部基片的形状在中心部分具有安装孔的上部基片，在安装孔的内圆周表面具有多个以规则间隔形成的上部固定电极，并且上部基片被安装在下部基片的上侧处；介于下部基片和上部基片之间的绝缘层；被插入到下部基片和上部基片的安装孔中并具有在其外圆周表面形成的移动电极以使其交替地布置在下部固定电极和上部固定电极之间的移动基片；用于给下部基片、上部基片和移动基片提供能量以驱动移动基片的多个电极片；安装在移动基片处的用于将移动基片弹性地返回到它的初始位置的弹性件；其中在空气轴承表面的表面上形成有保护层或润滑层。