[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置无效
| 申请号： | 200610006315.2 | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN1810389A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 川根旬平;竹市芳邦 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B3/04;F25C1/00;G02F1/13;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理方法以及基板处理装置，其在使用含有冰微粒子的处理液进行基板的处理时，可以不产生处理不均而进行均匀的处理，不损伤形成在基板上的被膜。此装置具有存积含有冰微粒子的处理液的清洗槽(10)，向清洗槽(10)内供给含有冰微粒子的处理液并使其在清洗槽内流动然后从清洗槽内排出的单元，以及将基板(W)向清洗槽(10)内搬入并在清洗槽内搬送然后从清洗槽内搬出的单元，在清洗槽(10)内让含有冰微粒子的处理液相对基板(W)进行相对流动，同时使其与基板的主面接触。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理方法，使用含有冰微粒子的处理液来对基板进行处理，其特征在于，将含有冰微粒子的处理液存积在容器内，在该容器内使含有冰微粒子的处理液相对基板进行相对流动的同时与基板的主面接触。
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