[发明专利]氮化物半导体器件无效
申请号: | 200610002963.0 | 申请日: | 2006-01-26 |
公开(公告)号: | CN1845347A | 公开(公告)日: | 2006-10-11 |
发明(设计)人: | 李奎翰;金制远;金东俊 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种具有电子发射结构的氮化物半导体器件。在该器件中,n型氮化物半导体层形成在衬底上,以及有源层形成在n型氮化物半导体层上。而且p型氮化物半导体层形成在有源层上。有源层形成在p型氮化物半导体层和n型氮化物半导体层之间,并包括量子阱层和量子势垒层。此外,在n型氮化物半导体层和有源层之间形成有电子发射层。电子发射层包括:氮化物半导体量子点层,形成在n型氮化物半导体层上,并具有表示为AlxInyGa (1-x-y) N的组成,其中0≤x≤1,且0≤y≤1;以及谐振隧道层,形成在氮化物半导体量子点层上,并具有比相邻的量子点层的带隙大的带隙。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种氮化物半导体器件,包括:n型氮化物半导体层;p型氮化物半导体层;有源层,形成在所述p型氮化物半导体层和所述n型氮化物半导体层之间,并具有量子阱层和量子势垒层;以及电子发射层,形成在所述n型氮化物半导体层和所述有源层之间;其中,所述电子发射层包括:氮化物半导体量子点层,形成在所述n型氮化物半导体层上,并具有表示为AlxInyGa(1-x-y)N的组成,其中0≤x≤1,且0≤y≤1;以及谐振隧道层,形成在所述氮化物半导体量子点层上,并具有比所述量子阱层的带隙大的带隙。
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