[发明专利]多孔阀金属薄膜及其制造方法以及薄膜电容器有效
| 申请号： | 200580052451.9 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101351573A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 大迫敏行;小向哲史 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23F1/18;C23F1/22;C23F1/30;H01G4/33;H01G9/00;H01G9/04 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种表面积大的多孔阀金属薄膜及其制造方法、以及采用该薄膜作为阳极体的电容密度大的薄膜电容器。采用包括如下工序的制造方法制造多孔阀金属薄膜：1)制作阀金属和异相成分的粒径均位于1nm～1μm范围内并且阀金属和异相成分均匀分布的薄膜的工序；2)通过热处理调整粒径并且进行适度烧结的工序；3)除去异相部分的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 金属 薄膜 及其 制造 方法 以及 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种多孔阀金属薄膜，由阀金属形成，是具有与外界连通的多个微细孔的多孔薄膜，其特征在于，该薄膜的表面积为假定该薄膜表面是平滑表面时的表面积的2倍以上。
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