[发明专利]振荡微机械角速度传感器

摘要

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，并且更具体涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，关联测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的边缘提供至少一对电极，该电极对与质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的表面一起形成两个电容，使得该电极对的一个电容以质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的主运动的函数形式增加，而电极对的另一个电容减小。根据本发明的角速度传感器结构能够在紧凑振荡微机械角速度传感器的解决方案中进行可靠且有效的测量。

主权项

1.一种振荡微机械角速度传感器，其特征在于：包括在支撑区域附着到传感器部件主体上的至少一个测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)以及关联活动电极，使得：在所述角速度传感器中，必须产生的主运动是所述至少一个测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)和所述关联活动电极绕垂直于晶片平面的轴线的角振荡，除了所述主运动，所述测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)拥有相对垂直于所述主运动的检测轴线的第二自由度，以及与所述测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)的至少一个边缘关联提供至少一对电极，该电极对与所述质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)的表面一起形成两个电容，使得一对电极的电容以所述质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)、(45)、(46)的主运动的旋转角度的函数形式增加，而另一对电极的电容则减小。