[发明专利]用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪无效
| 申请号： | 200580044620.4 | 申请日： | 2005-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101087990A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | A·W·库拉维克;M·J·特罗诺洛恩;J·C·马龙;T·J·邓恩 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 两个共用路径的干涉仪共享一个测量腔，用于测量不透明的测试部件的相反的侧面。在测试部件的一个侧面与第一干涉仪的参照面之间、在测试部件的另一个侧面与第二干涉仪的参照面之间、以及在第一和第二参照面之间，形成干涉图案。两个干涉仪的参照面之间的后一种测量使测试部件的相反侧面的测量能够彼此关联起来。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 两侧 测量 重叠 共用 路径 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量不透明部件的相反的侧面的干涉系统，测量相反的侧面既是单独进行的也是彼此相关地进行的，所述干涉系统包括：具有第一参照面的第一干涉仪；具有第二参照面的第二干涉仪；所述第一和第二参照面位于所述干涉仪中的至少第一干涉仪的视场内；所述第一干涉仪定位成用于测量在所述不透明部件的第一侧面与所述第一参照面上相应的点之间的距离；所述第二干涉仪定位成用于测量在所述不透明部件的第二侧面与所述第二参照面上相应的点之间的距离；所述第一干涉仪也定位成用于测量在所述第一和第二参照面上相应的点之间的距离；以及处理器，所述处理器基于所述参照面之间的距离测量使所述不透明部件的第一和第二侧面的有关测量彼此关联起来。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁股份有限公司，未经康宁股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580044620.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
