[发明专利]用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪

权利要求书

1.一种用于测量不透明部件的相反的侧面的干涉系统，测量相反的侧面既是单独进行的也是彼此相关地进行的，所述干涉系统包括：

具有第一参照面的第一干涉仪；

具有第二参照面的第二干涉仪；

所述第一和第二参照面位于所述干涉仪中的至少第一干涉仪的视场内；

所述第一干涉仪定位成用于测量在所述不透明部件的第一侧面与所述第一参照面上相应的点之间的距离；

所述第二干涉仪定位成用于测量在所述不透明部件的第二侧面与所述第二参照面上相应的点之间的距离；

所述第一干涉仪也定位成用于测量在所述第一和第二参照面上相应的点之间的距离；以及

处理器，所述处理器基于所述参照面之间的距离测量使所述不透明部件的第一和第二侧面的有关测量彼此关联起来。

2.如权利要求1所述的系统，还包括用于将所述不透明部件定位到所述第一和第二参照面之间的支架。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第一和第二参照面既是部分透射的又是部分反射的。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第一干涉仪具有第一参照路径和第一测试路径，所述第一参照路径包括来自所述第一参照面的反射，所述第一测试路径包括穿过所述第一参照面到达和来自所述不透明部件的第一侧面的透射；并且所述第二干涉仪具有第二参照路径和第二测试路径，所述第二参照路径包括来自所述第二参照面的反射，所述第二测试路径包括穿过所述第二参照面到达和来自所述不透明部件的第二侧面的透射。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一干涉仪还具有一测试路径，该测试路径包括穿过所述第一参照面到达和来自所述第二参照面的透射。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一干涉仪是一种工作在一连串不同测量光束频率处的频移干涉仪，用于解决基于波长的测量模糊性。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述频移干涉仪提供了足够大的测量范围以明确地确定所述第一和第二参照面之间的距离。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述第一和第二干涉仪都是频移干涉仪，用于明确地测量在所述不透明部件的第一侧面与所述第一参照面之间以及在所述不透明部件的第二侧面与所述第二参照面之间的距离。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，与所述不透明部件的第一和第二侧面上的点相对应的所述第一和第二参照面上的点不同于彼此相对应的第一和第二参照面上用于测量第一和第二参照面之间距离的那些点。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述第一和第二参照面具有假定的形状，并且所述第一和第二参照面上相应的点之间的距离测量与假定的形状一起允许计算与所述不透明部件的第一和第二侧面上的点所对应的参照面上的点相一致的参照面之间其它相应的点处的距离测量。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，通过从由第一和第二参照面上其它相应的点之间的距离测量获得的、在第一和第二参照面上相应的点之间的距离中减去在不透明部件的第一和第二侧面以及第一和第二参照面上相应的点之间的相应距离测量，所述处理器测量不透明部件的第一和第二侧面上相应的点之间的部件厚度。

12.一种用于测量具有第一和第二侧面的测试部件的干涉系统，包括：

第一干涉仪，它具有第一参照面和第一光路，所述第一光路用于传送第一测量光束以便测量所述测试部件的第一侧面与所述第一参照面之间的光程差；

第二干涉仪，它具有第二参照面和第二光路，所述第二光路用于传送第二测量光束以便测量所述测试部件的第二侧面与所述第二参照面之间的光程差；

所述第一干涉仪的第一光路超越所述测试部件的第一侧面延伸到所述第二干涉仪的第二参照面，以便测量所述第一和第二参照面之间的光程差；以及

处理器，所述处理器将所述测试部件的第一和第二侧面与所述第一和第二参照面之间的相应光程差的测量与所述第一和第二参照面之间的光程差的测量组合起来，以便测量所述测试部件的第一和第二侧面之间的距离。

13.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述第一光路在所述测试部件的第二侧面与所述第二参照面之间的长度方向上与所述第二光路重叠。