[发明专利]用于直尺平直度测量的顺序多探头方法无效

专利信息
申请号: 200580043016.X 申请日: 2005-12-12
公开(公告)号: CN101080609A 公开(公告)日: 2007-11-28
发明(设计)人: A·M·赖肯;M·A·M·库佩恩;E·J·M·扬森;T·A·M·勒伊 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: G01B21/20 分类号: G01B21/20
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 韩宏
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 用于直尺平直度测量的系统和方法,所述测量系统包括多探头(4a、4b、4c)装置(4),用于利用沿导轨(G(x))移动的滑架(4)沿直尺(3)顺序测量。所述滑架(4)沿直尺(3)的一个表面(S(x))移动以取得测量结果,然后转移到直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿直尺(3)的相反表面(S’(x))移动以取得测量结果。通过加减在直尺的相反表面上所取得的测量点,可以分辨由探头产生的系统误差,因而,直尺平直度的测量得以改进。制造中以及工件和其它零件的测量误差因而可以被减小。该方法和装置也可用于实时的平直度矫正。
搜索关键词: 用于 直尺 平直 测量 顺序 探头 方法
【主权项】:
1、用于直尺(3)平直度测量的顺序多探头方法,所述方法采用利用沿导轨(G(x))移动的滑架(4)沿所述直尺(3)顺序测量的多探头(4a、4b、4c)装置(4),其中,所述滑架(4)沿所述直尺3的一个表面(S(x))移动以获得测量结果,继而沿所述直尺的相反表面(S’(x))移动以获得测量结果。
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