[发明专利]用于直尺平直度测量的顺序多探头方法

权利要求书

1、用于直尺(3)平直度测量的顺序多探头方法，所述方法采用利用沿导轨(G(x))移动的滑架(4)沿所述直尺(3)顺序测量的多探头(4a、4b、4c)装置(4)，其中，所述滑架(4)沿所述直尺3的一个表面(S(x))移动以获得测量结果，继而沿所述直尺的相反表面(S’(x))移动以获得测量结果。

2、如权利要求1所述的顺序多探头方法，其中，在所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))，所述滑架(4)被如此定向使得所述相同的探头(4a、4b、4c)相向面对。

3、如权利要求1所述的顺序多探头方法，其中，在所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))，所述滑架(4)被如此定向使得所述探头(4a、4b、4c)的顺序被颠倒。

4、如权利要求1所述的顺序多探头方法，其中，使用了三个探头(4a、4b、4c)。

5、如权利要求1所述的方法，其中，比较对所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))取得的测量结果，用于提供所述直尺的平直度的测量结果。

6、如权利要求5所述的方法，其中，在所述比较中，考虑了所述直尺(3)的厚度(th)的系统误差。

7、用于测量具有可移动部件(2)和直尺(3)的机器和用于测量所述直尺的平直度的系统中的位置误差的装置，所述测量系统包括多探头(4a、4b、4c)装置(4)，用于利用沿导轨(G(x))移动的滑架(4)沿直尺(3)顺序测量，其中，所述装置包括用于将所述滑架(4)沿所述直尺(3)的一个表面(S(x))移动以取得测量结果、转移所述滑架(4)到所述直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿所述直尺(3)的所述相反表面移动所述滑架以取得测量结果的装置。

8、用于直尺(3)平直度测量的测量系统，所述系统包括多探头(4a、4b、4c)装置(4)，用于利用沿导轨(G(x))移动的滑架(4)沿直尺(3)顺序测量，其中，所述测量系统包括用于将所述滑架(4)沿所述直尺(3)的一个表面(S(x))移动以取得测量结果、转移所述滑架(4)到所述直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿所述直尺(3)的所述相反表面(S’(x))移动所述滑架(4)以取得测量结果的装置。