[发明专利]具有设置在靶管与承载管之间的连接层的管状靶无效
| 申请号： | 200580042924.7 | 申请日： | 2005-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101080508A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·西蒙斯;马丁·施洛特;马库斯·舒尔特海斯;马丁·魏格特;拉尔斯·古塞克 | 申请（专利权）人： | W.C.贺利氏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;张天舒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有圆柱形承载管和至少一个设置在其外表面上的靶管的管状靶，其中在所述靶管与所述承载管之间设置有连接层，本发明的特征在于，所述连接层是导电的，并且具有大于90％的润湿度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 设置 承载 之间 连接 管状 | ||
【主权项】：
1.一种管状靶，具有圆柱形承载管和至少一个设置在承载管外表面上的靶管，其中，在所述靶管与所述承载管之间设置有连接层，其特征在于，所述连接层是导电的，并且具有大于90％的润湿度。
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