[发明专利]高精度基材支架举升设备及方法无效
| 申请号： | 200580040817.0 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101065512A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 基比·弗劳德 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于调整介于一腔室体与一升举板之间的一间距的装置，至少包含有将被装设至该腔室体的一装设螺栓的升举板。该装设螺栓包括有一螺栓刻纹表面。一轴衬能够被固定至该升举板，并且包括有一轴衬刻纹表面。一调整螺丝具有第一刻纹表面与第二刻纹表面，其中该第一刻纹表面刻纹地卡合于该装设螺栓的该螺栓刻纹表面，该第二刻纹表面刻纹地卡合于该轴衬的该轴衬刻纹表面。当该轴衬被固定至该升举板且该调整螺丝被旋转时，该些刻纹表面是用以使得该调整螺丝相对于该装设螺栓以第一速率在第一方向移动且该轴衬相对于该调整螺丝以第二速率在第二方向移动，其中该第二方向是相反于该第一方向且该第二速率是不同于该第一速率。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 基材 支架 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于调整介于一腔室体与一升举板之间的一间距的装置，该装置至少包含：一装设螺栓，被建构以被装设至该腔室体，该装设螺栓包括有一螺栓刻纹表面；一轴衬，能够被固定至该升举板，该轴衬包括有一轴衬刻纹表面；一调整螺丝，具有第一刻纹表面与第二刻纹表面，其中该第一刻纹表面刻纹地卡合于该装设螺栓的该螺栓刻纹表面，该第二刻纹表面刻纹地卡合于该轴衬的该轴衬刻纹表面；其中当该轴衬被固定至该升举板且该调整螺丝被旋转时，该些刻纹表面是用以使得该调整螺丝相对于该装设螺栓以第一速率在第一方向移动且该轴衬相对于该调整螺丝以第二速率在第二方向移动，其中该第二方向是相反于该第一方向且该第二速率是不同于该第一速率。
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