[发明专利]具有安全、监测及控制特征的热衰减反应装置

摘要

在一或多个态样中，本发明揭示一种热反应器装置，该装置可用以处理工业废弃流体，例如在半导体及液晶显示制程中所产生的废弃气体。更详细地说，本发明包含一系统，其至少包含控制器、反应室、导管、前导、感测器及致动器，其中该反应室调适成由该控制器所控制，该导管导入该反应室，该前导设置于该反应室内的导管第一端，该感测器设置于该反应室外面的导管第二端，该反应室耦合至该控制器及调适成提供一指示至该控制器以指明该前导是否已点燃，及该致动器可操作的以开启及关闭该导管。本发明亦揭露多个其他态样。

主权项

1. 一种系统，其至少包含：控制器；反应室，调适成通过该控制器进行控制；导管，导入该反应室；前导，设置于该反应室内的导管第一端；感测器，设置于该反应室外面的导管第二端，其中该反应室耦合至该控制器，及调适成提供一指示至该控制器以指明该前导是否点燃；及致动器，操作以开启及关闭该导管。