[发明专利]具有安全、监测及控制特征的热衰减反应装置无效

专利信息
申请号: 200580039478.4 申请日: 2005-11-17
公开(公告)号: CN101460782A 公开(公告)日: 2009-06-17
发明(设计)人: H·-M·R·秋;丹尼尔·O·克拉科;肖恩·W·克瑞福德;杰伊·J·荣格;尤斯塞夫·A·劳德;罗伯特·韦梅伦 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06;F23G5/50;F23N5/24;F23N5/08
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 陆 嘉
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 具有 安全 监测 控制 特征 衰减 反应 装置
【权利要求书】:

1.一种系统,其至少包含:

控制器;

反应室,调适成通过该控制器进行控制;

导管,导入该反应室;

前导,设置于该反应室内的导管第一端;

感测器,设置于该反应室外面的导管第二端,其中该反应室耦合至该控制器,及调适成提供一指示至该控制器以指明该前导是否点燃;及

致动器,操作以开启及关闭该导管。

2.如权利要求1所述的系统,其中上述的控制器调适成基于来自该感测器的指示,而操作该反应室。

3.如权利要求1所述的系统,其中上述的感测器是紫外线感测器。

4.如权利要求1所述的系统,其中上述的致动器调适成避免当导管关闭之时,来自火焰的辐射到达该感测器。

5.如权利要求1所述的系统,其中上述的致动器调适成令该导管在一开启状态与一关闭状态之间循环。

6.如权利要求5所述的系统,其中上述的控制器调适成通过比较该导管的实际状态与来自该感测器的指示,而测试该感测器。

7.如权利要求6所述的系统,其中上述的致动器调适成令该导管在一开启状态与一关闭状态之间,以对该控制器熟知的规定速率循环。

8.如权利要求1所述的系统,其中上述的反应室包括燃烧器喷嘴,其调适成提供燃料至该反应室及通过该前导点燃,及

其中该感测器再调适成提供一指示至该控制器以指明该燃烧器喷嘴是否已点燃。

9.如权利要求8所述的系统,其中上述的控制器调适成基于该燃烧器喷嘴是否已点燃,而令该反应室停机。

10.一种系统,其至少包含:

第一封罩,包含一反应室;

第二封罩,与该第一封罩联合;

感测器,位于该第一封罩内及调适成侦测该第一封罩内的可燃性气体;

加热器,位于该第一封罩内及维持该感测器于一规定温度;

第一障壁,位于该第二封罩内、耦合至该感测器、及调适成限制供入该感测器的能源量为低于一可燃性气体点燃能量大小;及

第二障壁,位于该第二封罩内、耦合至该加热器、及调适成限制供入该加热器的能源量为低于该可燃性气体点燃能量大小。

11.如权利要求10所述的系统,其更包含:

控制器,调适成接收来自该第一障壁的信号,及若该信号指明该可燃性气体的浓度高低超过一规定门槛值,即令该反应室停机。

12.如权利要求11所述的系统,其中上述的控制器包括电压比较器。

13.如权利要求10所述的系统,其中上述的第一封罩包括排气孔。

14.如权利要求13所述的系统,其中上述的感测器设置为接近该排气孔。

15.如权利要求10所述的系统,其中上述的第二封罩以不可燃气体填充而进行净化。

16.如权利要求10所述的系统,其中上述的感测器包括抗热感测器。

17.如权利要求10所述的系统,其中上述的第一障壁包括电位计隔离器。

18.如权利要求10所述的系统,其中上述的第二障壁包含齐纳二极管。

19.如权利要求10所述的系统,其更包含第三封罩,其容纳该第一及第二封罩。

20.一种系统,其至少包含:

第一封罩,包含一反应室;

第二封罩,与该第一封罩联合;

感测器,位于该第一封罩内及调适成侦测该第一封罩内的可燃性气体;

障壁,位于该第二封罩内、耦合至该感测器、及调适成限制供入该感测器的能源量为低于可燃性气体点燃能量大小;及

控制器,调适成接收来自该障壁的信号,及若该信号指明该可燃性气体的浓度高底超过规定门槛值,即令该反应室停机。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司,未经应用材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200580039478.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top