[发明专利]压力传感器有效
| 申请号: | 200580035987.X | 申请日: | 2005-08-06 |
| 公开(公告)号: | CN101044382A | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
| 发明(设计)人: | 延斯·彼得·克罗;卡斯珀·彼泽森;卡斯滕·克里斯滕森 | 申请(专利权)人: | 格伦德福斯联合股份公司 |
| 主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06;G01L9/00;G01L13/02;G01L19/06 |
| 代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑小军 |
| 地址: | 丹麦比*** | 国省代码: | 丹麦;DK |
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| 摘要: | 本发明涉及一种具有载体(2)的压力传感器,在载体(2)的内部区域中具有薄膜(4),在该薄膜(4)上设置有至少一个第一测量元件(R1-),以检测施加在薄膜(4)上的压力,其特征在于:在薄膜上还另外设置有至少一个第二测量元件(R3-),以检测施加在薄膜(4)上的压力,其中第一测量元件(R1-)和第二测量元件(R3-)距薄膜的边缘相隔不同的距离,并且对第一和第二测量元件(R1-、R3-)的输出信号以如下的方式合并分析,即两个测量元件(R1-、R3-)检测施加于薄膜(4)的压差,并由此补偿施加于薄膜(4)两侧上的系统压力的影响。 | ||
| 搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
1、一种具有载体(2)的压力传感器,在该载体(2)的内部区域中具有薄膜(4),在该薄膜(4)上设置有至少一个第一测量元件(R1-),以检测施加在该薄膜(4)上的压力,其特征在于,在该薄膜上还另外设置有至少一个第二测量元件(R3-),以检测施加在该薄膜(4)上的压力,其中该第一测量元件(R1-)和该第二测量元件(R3-)设置为距该薄膜的边缘相隔不同的距离,并且对该第一测量元件(R1-)和该第二测量元件(R3-)的输出信号以如下的方式合并分析,即,两个测量元件(R1-、R3-)检测施加于该薄膜(4)上的压差,并由此补偿施加于该薄膜(4)两侧上的系统压力的影响。
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