[发明专利]压力传感器有效

专利信息
申请号: 200580035987.X 申请日: 2005-08-06
公开(公告)号: CN101044382A 公开(公告)日: 2007-09-26
发明(设计)人: 延斯·彼得·克罗;卡斯珀·彼泽森;卡斯滕·克里斯滕森 申请(专利权)人: 格伦德福斯联合股份公司
主分类号: G01L9/06 分类号: G01L9/06;G01L9/00;G01L13/02;G01L19/06
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 郑小军
地址: 丹麦比*** 国省代码: 丹麦;DK
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摘要: 发明涉及一种具有载体(2)的压力传感器,在载体(2)的内部区域中具有薄膜(4),在该薄膜(4)上设置有至少一个第一测量元件(R1-),以检测施加在薄膜(4)上的压力,其特征在于:在薄膜上还另外设置有至少一个第二测量元件(R3-),以检测施加在薄膜(4)上的压力,其中第一测量元件(R1-)和第二测量元件(R3-)距薄膜的边缘相隔不同的距离,并且对第一和第二测量元件(R1-、R3-)的输出信号以如下的方式合并分析,即两个测量元件(R1-、R3-)检测施加于薄膜(4)的压差,并由此补偿施加于薄膜(4)两侧上的系统压力的影响。
搜索关键词: 压力传感器
【主权项】:
1、一种具有载体(2)的压力传感器,在该载体(2)的内部区域中具有薄膜(4),在该薄膜(4)上设置有至少一个第一测量元件(R1-),以检测施加在该薄膜(4)上的压力,其特征在于,在该薄膜上还另外设置有至少一个第二测量元件(R3-),以检测施加在该薄膜(4)上的压力,其中该第一测量元件(R1-)和该第二测量元件(R3-)设置为距该薄膜的边缘相隔不同的距离,并且对该第一测量元件(R1-)和该第二测量元件(R3-)的输出信号以如下的方式合并分析,即,两个测量元件(R1-、R3-)检测施加于该薄膜(4)上的压差,并由此补偿施加于该薄膜(4)两侧上的系统压力的影响。
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