[发明专利]用于测量测量目标的具有镜面装置的干涉仪无效
| 申请号： | 200580031863.4 | 申请日： | 2005-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101023320A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | J·施特雷勒 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/06;G01N21/95 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;胡强 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于对测量目标(5)，特别是测量目标(5)的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置(1)。在这种情况中，专用镜头(45)设有镜面装置(40)，该镜面装置由至少一个第一偏转镜面(60)和一个第二偏转镜面(65)组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面(60)或者说第二偏转镜面(65)的目标光线(25)对准彼此反向平行的第一光程(80)或者说第二光程(85)中的待测量的测量目标(5)的第一侧面(70)或者说与它平行的第二侧面(75)。镜面装置(40)附加地具有至少一个用于投影待测量的测量目标(5)相对于第一偏转镜面(60)和/或第二偏转镜面(65)的位置的第一位置镜面(70)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 目标 具有 装置 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.用于对测量目标(5)特别是对测量目标(5)的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置(1)，其具有光源(10)、用于形成基准光线(20)和目标光线(25)的分光器(15)、在基准光程(35)中的基准镜面(30)、在目标光程(50)中的具有镜面装置(40)的专用镜头(45)和摄像机(55)，其中，镜面装置(40)由至少一个第一偏转镜面(60)和一个第二偏转镜面(65)组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面(60)或者说第二偏转镜面(65)的目标光线(25)对准在彼此反向平行的第一光程(80)或者说第二光程(85)中的待测量的测量目标(5)的第一侧面(70)或者说与它平行的第二侧面(75)，其特征在于，所述镜面装置(40)附加地具有至少一个用于投影待测量的测量目标(5)相对于第一偏转镜面(60)和/或第二偏转镜面(65)的位置的第一位置镜面(70)。
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