[发明专利]用于检查试样表面的方法、装置以及荧光物质的应用有效
| 申请号： | 200580031601.8 | 申请日： | 2005-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101023342A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 米希尔·戴维·奈克尔克;彼得·克勒伊特 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用科学研究会（TNO） |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种检查试样表面的方法。该方法包括以下步骤：朝向试样表面方向产生多束初级射线束；将所述多束初级射线束聚焦在试样表面上的各个位置；收集由初级射线束入射到试样表面而产生的多束带电粒子的次级射线束；将所收集的次级射线束的至少之一转换成光束；以及检测该光束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 试样 表面 方法 装置 以及 荧光 物质 应用 | ||
【主权项】：
1.检查试样表面的方法，包括以下步骤：朝向所述试样表面方向产生多束初级射线束；将所述多束初级射线束聚焦在所述试样表面上的各个位置；收集由所述初级射线束入射到所述试样表面而产生的多束次级射线束；将收集的所述次级射线束的至少之一转换成光束；以及检测所述光束。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于荷兰应用科学研究会（TNO），未经荷兰应用科学研究会（TNO）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580031601.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
