[发明专利]衬底处理设备无效
| 申请号： | 200580030319.8 | 申请日： | 2005-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101073146A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 中务胜吉;山口弘;小笠原和久;木泽浩 | 申请（专利权）人： | S.E.S.株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/304 | 分类号： | H01L21/304;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B9/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底处理设备，该衬底处理设备包括在上方具有开口部的箱型的处理槽(11)；以可开闭的方式覆盖该处理槽的开口部的盖体(21)，其特征在于在上述盖体(21)的内部，形成接纳被处理衬底(W)，对其进行干燥的干燥室(23)，上述处理槽(11)中，在构成上述箱型的面对的各侧壁面上，分别以规定间距间隔开地水平地设置至少3根处理液供给喷嘴管(14a)～(14c)，(14a’)～(14c’)，这些供给喷嘴管(14a)～(14c)，(14a’)～(14c’)与切换机构连接，从面对的侧壁侧，相互切换，供给处理液。本发明提供将各种化学液处理、水洗和干燥的处理可在同一处理槽内进行的衬底处理设备。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理设备，该衬底处理设备包括在上方具有开口部的箱型的处理槽；以可开闭的方式覆盖该处理槽的开口部的盖体，其特征在于：上述盖体，在其内部，形成容纳被处理衬底，对其进行干燥的干燥室；上述处理槽，在构成上述箱型的相互面对的各侧壁面上，分别水平地设置间隔规定间距的至少3根的处理液供给喷嘴管，这些供给喷嘴管与切换机构连接，从相互面对的侧壁侧，相互切换，供给处理液。
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