[发明专利]MEMS显示装置及驱动此装置的方法

摘要

实例性MEMS干涉式调制器的实施例布置于电极行与列的交叉点处。在某些实施例中，列电极具有一低于行电极的电阻。一驱动电路在一第一阶段期间在电极两端施加一为一第一极性的电位差，并随后快速变换成在一第二阶段期间施加一具有一与所述第一极性相反的极性的偏压。在某些实施例中，在所述第一及第二阶段期间施加至行电极的电压之差的一绝对值小于施加至列电极的电压之差的一绝对值。

主权项

1、一种装置，其包括：一衬底；一设置于电极行与列的交叉点处的光调制器阵列；至少一个由一第一电阻表征的第一电极；至少一个第二电极，其由一第二电阻表征并与所述至少一个第一电极相交叉以在每一交叉点处形成一光调制器，其中所述第二电阻小于所述第一电阻；及一驱动电路，其包括一电连接至所述至少一个第一电极与所述至少一个第二电极中每一者的输出端，且经配置以：在一第一阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第一电压并在一第二阶段期间对所述至少一个第一电极施加一第二电压；及在所述第一阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第三电压并在所述第二阶段期间对所述至少一个第二电极施加一第四电压，其中所述第三电压与所述第四电压之间的变换发生得快于所述光调制器的机械响应时间；其中所述第一电压与所述第二电压之差的一绝对值小于所述第三电压与所述第四电压之差的一绝对值，且所述第一电压与所述第三电压之差为一第一极性，而所述第二电压与所述第四电压之差为一与所述第一极性相反的第二极性。