[发明专利]对准信息显示方法及其程序、对准方法、曝光方法、组件制造方法、显示系统、显示装置、程序及测定/检查装置

摘要

本发明提供一种对准信息显示方法及其程序、对准方法、曝光方法、组件制造方法、显示系统、显示装置、程序及测定/检查装置，能有效率地进行对准结果的分析和评价，从而可以容易地设定有效的对准条件和参数。本发明的对准信息显示方法，输入与对准测量有关的处理结果数据，并输入对准测量的参数相关信息，然后根据所输入参数，从处理结果数据求出显示对象信息，将求出的期望的显示对象信息以明示对准测量的影响的显示形式来显示。从而，设定期望的条件，可容易地对该设定条件的分析结果，即因该设定条件所产生的影响进行确认。因此，利用者可易于检测出最佳的对准条件和参数。

主权项

1.一种对准信息显示方法，该信息为与用于进行物体的定位的对准测量有关的信息，其特征在于具有以下步骤：输入与所述对准测量有关的既定处理结果数据；输入与所述对准测量的参数有关的信息；根据所述输入的参数，从所述输入的处理结果数据求出所期望的显示对象信息；及将所述求出的期望的显示对象信息以明示与所述对准测量有关的参数对所述对准测量的影响的既定显示形式来显示。