[发明专利]疏水涂层的制备方法,实施该方法的设备以及具有疏水涂层的载体无效
申请号: | 200580016655.7 | 申请日: | 2005-05-26 |
公开(公告)号: | CN1976880A | 公开(公告)日: | 2007-06-06 |
发明(设计)人: | A·霍里克特;H·蒙蒂高德;J·-C·吉伦 | 申请(专利权)人: | 法国圣戈班玻璃厂 |
主分类号: | C03C17/42 | 分类号: | C03C17/42;C03C17/30;C03C23/00;C23C16/02;H01J37/32 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘维升;林森 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 在载体上,特别在玻璃载体上制备涂层的方法,其中在该载体上沉积金属氧化物薄层,让这个薄层经受蚀刻操作,使其表面变得粗糙,然后在变得粗糙的表面上涂布能与所述第一金属氧化物层粘附的第二涂层,根据本发明,第一金属氧化物或金属氧氮化物与至少一种第二金属氧化物或金属氧氮化物一起沉积,第二金属氧化物或金属氧氮化物分配在沉积层中。在蚀刻操作中,使用用等离子体活化的气体,该气体除去至少一种第二金属氧化物或金属氧氮化物少于第一金属氧化物或金属氧氮化物,从而蚀刻后在该表面上形成由至少一种第二金属氧化物或金属氧氮化物构成的凸起的不规则性。 | ||
搜索关键词: | 疏水 涂层 制备 方法 实施 设备 以及 具有 载体 | ||
【主权项】:
1.在载体上,特别在玻璃表面上制备涂层的方法,其中在该载体上沉积第一金属氧化物薄层,让这个薄层经受使用等离子体的蚀刻操作或使用等离子体活化的蚀刻操作,使其表面变得粗糙,然后在变得粗糙的表面上涂布能与所述第一金属氧化物层粘附的第二涂层,其特征在于第一金属氧化物或金属氧氮化物与至少一种第二金属氧化物或金属氧氮化物一起沉积,第二金属氧化物或金属氧氮化物分布在该沉积层中,其特征还在于在蚀刻操作中,使用用等离子体活化的气体,该气体至少除去的第二金属氧化物或金属氧氮化物少于第一金属氧化物或金属氧氮化物,从而蚀刻后在该表面上形成由至少一种第二金属氧化物或金属氧氮化物构成的凸起的不规则性形状。
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