[发明专利]基片支承系统和方法无效
| 申请号： | 200580015282.1 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101426957A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | P·K·尼曼卡雅拉;S·V·斯里尼瓦桑 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括一种基片支承系统，该系统包括卡盘体，该卡盘体具有从中延伸出销的体表面，这些销具有位于一平面内的接触面，所述销与卡盘体可移动地连接，从而相对于所述平面移动。因此，该基片支承系统即使不能避免也可减小由于存在颗粒污染物在基片中造成的非平面性。这是通过制造具有顺应性的销，使得销能够发生移动，在基片中充分保持平面性的同时容纳颗粒的存在而完成的。 | ||
| 搜索关键词： | 支承 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种基片支承系统，该系统包括：卡盘体，该卡盘体具有体表面，从该体表面中延伸出销，所述的销具有位于一平面内的接触面，所述销与所述卡盘体可移动地连接，以相对于所述平面移动。
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