[发明专利]基片支承系统和方法

权利要求书

1.一种基片支承系统，该系统包括：

卡盘体，该卡盘体具有体表面，从该体表面中延伸出销，所述的销具有位 于一平面内的接触面，所述销与所述卡盘体可移动地连接，以相对于所述平面 移动。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述销与所述卡盘体相连接， 使得所述销当受到不均匀地分布于其上的负荷作用的时候，移动离开所述平 面。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述销与所述卡盘体连接，以 绕远处的柔顺性中心旋转。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述销与所述卡盘体连接，以 围绕远处的柔顺性中心旋转，所述柔顺性中心与所述销上所受负荷大于其余区 域上负荷的区域隔离开。

5.一种基片支承系统，该系统包括：具有从中延伸出“T”形销的表面的 卡盘体。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述“T”形销与所述表面连接， 以相对于所述表面发生移动。

7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述“T”形销与所述卡盘体连 接，从而在所述“T”形销上受到不均匀分布的负荷的时候，移动离开预定的 位置。

8.一种支承基片的方法，所述方法包括：

将所述基片置于两个相隔离的主体上；

使所述两个相隔离的主体中的一个移动离开所述基片。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，移动还包括使所述两个互相隔 离的主体均互相独立地移动离开所述基片。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述两个相隔离的主体包括在 常规的销单元中，移动还包括在所述销单元上受到不均匀分布的负荷作用的时 候，使所述两个相隔离的主体都移动离开所述基片。