[发明专利]弹性体的检查方法、检查装置以及尺寸预测程序无效
申请号: | 200580013310.6 | 申请日: | 2005-04-27 |
公开(公告)号: | CN1947271A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
发明(设计)人: | 山田智裕;驹泽正人;八田哲也;根萩隆智 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H01L41/22 | 分类号: | H01L41/22;H01H57/00;H01L41/08;H01L41/09 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 具备压电/电致伸缩体和两个以上电极的压电/电致伸缩致动器的检查方法。本检查方法,其特征在于,获取使压电/电致伸缩致动器振动时的频率特性,根据该频率特性,测量压电/电致伸缩致动器的位移量,是一种无需进行作为产品的实际驱动,不对压电/电致伸缩致动器进行分解/破坏,而能以高精度检查压电/电致伸缩致动器的方法。 | ||
搜索关键词: | 弹性体 检查 方法 装置 以及 尺寸 预测 程序 | ||
【主权项】:
1.一种弹性体的检查方法,其用于对具有两个以上弹性体的结构体进行检查,其特征在于,获取使所述结构体振动时的频率特性,并根据该频率特性,预测所述弹性体的尺寸。
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