[发明专利]适合于激光打印机的MEMS扫描仪有效
| 申请号： | 200580010806.8 | 申请日： | 2005-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101002131A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 兰黛尔·B·斯帕拉古;瓦耶塔·O·戴维斯;迪恩·R·布朗;古贺欣郎;阿部信正;野村雄二郎 | 申请（专利权）人： | 微视公司;精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李涛;钟强 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 电子照相打印机包括具有用来扫描光电导体上的光束的MEMS扫描仪的曝光单元。MEMS扫描仪包括具有与传统的旋转多边形扫描仪的面的形状类似的长宽比的反射镜。在优选实施例中，扫描镜在与其旋转轴平行的尺寸中，具有约750微米的长度，以及在垂直于其旋转轴的尺寸中，具有约8毫米的长度。MEMS扫描仪可操作用来以约5KHz的频率和约20度零到峰值机械扫描角的角位移扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 适合于 激光打印机 mems 扫描仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光打印机的MEMS扫描仪，其包括：硅扫描板，具有大于其纵向尺寸约4倍的横向尺寸；第一和二相对扭转臂，每一扭转臂耦合到所述扫描板并从近点纵向延伸到远点，所述第一和第二扭转臂定义所述扫描板的旋转轴；以及第一和第二相对安装结构，每一安装结构耦合到各个扭转臂的远点。
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