[发明专利]处理衬底的方法有效
| 申请号： | 200580010029.7 | 申请日： | 2005-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN1938450A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 中村和仁;考利·瓦吉达;恩里科·莫斯卡;格特·莱乌辛克;芬顿·R·麦克非;河野有美子;桑德拉·G·马尔霍特拉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C23C16/16 | 分类号： | C23C16/16;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及在处理室(10)中的陶瓷衬底加热器(20，600，700)上处理衬底(25，620，720)的方法。所述方法包括：在所述处理室(10)中的所述陶瓷衬底加热器(20，600，700)上形成保护涂层(730，790)，并在所述经涂敷的衬底加热器上处理衬底(25，620，720)。所述方法可以包括将待处理的衬底(25，620，720)提供到所述经涂敷的陶瓷衬底加热器上，通过将所述衬底(25，620，720)暴露于处理气体中对所述衬底(25，620，720)进行处理，并将所述经处理的衬底从所述处理室(10)中取出。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 衬底 方法 | ||
【主权项】：
1.在处理室中的陶瓷衬底加热器上处理衬底的方法，所述方法包括：在将衬底放置在所述衬底加热器上以前，在所述处理室中的所述陶瓷衬底加热器上形成保护涂层，包括：(a)将所述陶瓷衬底加热器暴露于含金属的气体中以沉积所述金属，并且(b)将所述陶瓷衬底加热器暴露于含至少一种含非金属的气体中以沉积所述至少一种非金属，其中，所述保护涂层包括用于接收衬底的表面部分，并且其中，所述表面部分是非金属层或组合的金属/非金属层的其中之一；并且在所述经涂敷的陶瓷衬底加热器上处理至少一个衬底。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
