[发明专利]具有成分填充孔的多孔化学机械抛光垫无效
| 申请号： | 200580008582.7 | 申请日： | 2005-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1934208A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B37/04;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种包含具有孔的聚合材料及配置于孔内的成分的抛光垫，以及一种用上述抛光垫抛光工件的方法及一种制造上述抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 成分 填充 多孔 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫，其包含聚合材料及选自液体、固体或其混合物的成分，其中该聚合材料具有孔，且该成分配置于该孔内。
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