[发明专利]利用干涉测量技术光学追踪目标的方法和系统无效
| 申请号： | 200580008507.0 | 申请日： | 2005-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1946986A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | T·谢;D·M·巴尼;M·T·迪皮 | 申请（专利权）人： | 阿瓦戈科技ECBUIP（新加坡）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/02 | 分类号： | G01C21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;王忠忠 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种光学位置追踪系统(200)包括用于从光束(280)产生入射光束(284)和参考光束(282)的光学装置(260)。此外，光学位置追踪系统(200)进一步包括用于使所述入射光束(284)扫描经过一个角度范围(290)以产生目标(205)对该入射光束(284)的反射(286)的光束导引装置(230)，其中导引该入射光束(284)的反射(286)与所述参考光束(282)干涉以形成干涉光束(250)。另外，光学位置追踪系统(200)能够通过干涉测量技术利用该入射光束(284)的角度值和所述干涉光束(250)确定所述目标(205)的位置，其中该角度值依赖于该反射(286)。如果该光束(280)具有多个波长，要么由于这些波长同时存在，要么由于在一个时间间隔内具有多个波长，就能确定目标(205)的绝对位置。如果光束(280)具有单一波长，就能确定目标(205)的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 干涉 测量 技术 光学 追踪 目标 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学位置追踪系统(200，500)，包括：用于从光束(280)产生入射光束(284)和参考光束(282)的光学装置(260)；以及用于使所述入射光束(284)扫描经过一个角度范围(290)以产生目标(205)对所述入射光束(284)的反射(286)的光束导引装置(230)，其中导引所述入射光束(284)的所述反射(286)与所述参考光束(282)干涉以形成干涉光束(250)，其中通过干涉测量技术利用所述入射光束(284)的角度值和所述干涉光束(250)确定所述目标(205)的位置，以及其中所述角度值依赖于所述反射(286)。
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