[发明专利]使用有效载荷作为惯性参考质量的有源隔振的致动器装置无效
| 申请号： | 200580003146.0 | 申请日： | 2005-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1914436A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | T·P·H·沃默达姆;M·J·弗沃德尔唐克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/027 | 分类号： | F16F15/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;陈景峻 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 将有效载荷(57)与地运动相隔离的有源隔振的方法和系统。该系统具有主体(16；51)、通过至少一根弹簧(45)由主体(51)支撑的质量(41)、通过至少另一根弹簧(43)由质量(41)支撑的另一质量(39)。传感器检测在质量(41)和另一质量(39)之间的距离，并且产生距离信号。控制器(49)接收距离信号，并基于距离信号而产生控制信号。致动器(47)基于控制信号而致动所述质量(41)的位置，而另一质量支撑将与地(16)隔离的有效载荷。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 有效 载荷 作为 惯性 参考 质量 有源 致动器 装置 | ||
【主权项】：
1.有源隔振系统，其被布置成将有效载荷(39)与地运动隔离，所述有效载荷(39)通过至少一根弹簧(43)来支撑，所述系统包括用于检测所述有效载荷(39)的位移并产生位移信号的传感器、用于接收所述位移信号并基于所述位移信号产生控制信号的控制器(49)、以及被布置成基于所述控制信号产生致动力的致动器(47)，其特征在于，所述系统包括支撑所述有效载荷(39)的质量(41)，所述传感器被布置成检测所述有效载荷(39)相对于所述质量的位移，以及所述致动器被布置成将所述致动力施加于所述质量(41)，以使所述有效载荷(39)被用作惯性参考质量。
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