[发明专利]压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头有效
| 申请号： | 200510134074.5 | 申请日： | 2005-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1805163A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 岩下节也;木岛健;大桥幸司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电元件(10)包含：基板(1)；基板(1)上方形成的第1导电层(4)；在第1导电层(4)上方形成的、由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层(5)；以及电连接在压电体层(5)上的第2导电层(6)，第1导电层(4)包含由在(001)优先取向的镍酸镧构成的导电性氧化层(42)，镍酸镧缺欠氧。由此，本发明提供一种能够得到良好的压电特性的压电元件。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 激励 喷墨式 记录 | ||
【主权项】：
1、一种压电元件，其特征在于，包含：基板；在所述基板上方形成的第1导电层；在所述第1导电层上方形成的，由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层；与所述压电体层电连接的第2导电层，所述第1导电层包含由在(001)优先取向的镍酸镧构成的导电性氧化层，所述镍酸镧缺欠氧。
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