[发明专利]用于制造有机EL显示装置的涂敷装置无效
| 申请号： | 200510129487.4 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1785533A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 川越理史;增市干雄;高村幸宏;吉田顺一 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05D3/00;H05B33/10 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 有机 el 显示装置 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷装置，其在基板上涂敷有机EL材料或空穴输送材料的处理液，其特征在于：具有：载物台，其装载上述基板；加热机构，其安装在上述载物台内并加热该载物台；控制机构，其控制上述加热机构，以使装载在上述载物台上的基板加热到适于涂敷后的搬送的温度；涂敷机构，其对装载在上述载物台上的基板喷洒上述处理液。
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