[发明专利]均匀磁场平行束透镜系统有效
| 申请号： | 200510127732.8 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1979749A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/14 | 分类号： | H01J37/14;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种均匀磁场平行束透镜系统，该系统包括上磁极、下磁极、侧磁轭、上磁轭、下磁轭、上线包、下线包、真空盒、冷却板。其中上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有上磁极和下磁极；上磁极和下磁极之间放置真空盒；上磁极外侧螺钉连接上线包；下磁极外侧螺钉连接下线包；上线包、下线包中间都有用于冷却线包的冷却板；上线包、下线包外侧，上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有侧磁轭。本发明能使离子束出射线平行，并可以通过调节加到上下线包的电流大小来控制半径以及平行度。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 磁场 平行 透镜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种均匀磁场平行束透镜系统，包括上磁极、下磁极、侧磁轭、上磁轭、下磁轭、上线包、下线包、真空盒、冷却板其特征在于：上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有上磁极和下磁极；上磁极和下磁极之间放置真空盒；上磁极外侧螺钉连接上线包；下磁极外侧螺钉连接下线包；上线包、下线包中间都有冷却线包的冷却板；上线包、下线包外侧，上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有侧磁轭。
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