[发明专利]采用软模形成精细图案的方法有效
| 申请号： | 200510126152.7 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1886031A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁;朴美暻 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/10 | 分类号： | H05K3/10;H01L21/48;G02F1/133 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种采用软模形成精细图案的方法，该方法包括采用软模在基板上形成精细图案；通过等离子体对其上形成有精细图案的基板进行处理；以及在其上形成有精细图案的基板上沉积无机膜和有机膜至少其中之一。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 形成 精细 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、一种采用软模形成精细图案的方法，包括：采用软模在基板上形成精细图案；通过等离子体对其上形成有所述精细图案的所述基板进行处理；以及在其上形成有所述精细图案的所述基板上形成无机膜和有机膜的至少其中之一。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG.菲利浦LCD株式会社，未经LG.菲利浦LCD株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510126152.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种研磨涂覆晶种层生长制备沸石膜方法
- 下一篇：数据广播服务
