[发明专利]高质量单晶及生长单晶的方法有效
申请号: | 200510109230.2 | 申请日: | 2005-10-19 |
公开(公告)号: | CN1766179A | 公开(公告)日: | 2006-05-03 |
发明(设计)人: | 赵铉鼎 | 申请(专利权)人: | 希特隆股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 武玉琴;黄永武 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种从坩埚内的熔融体生长单晶的方法。该方法包括如下步骤:沿着平行于所述单晶长度方向的轴,从所述单晶与所述熔融体的界面开始,使所述熔融体的温度逐渐上升至最高点,然后逐渐降低至所述坩埚底部。维持所述熔融体的升温温度梯度大于其降温温度梯度。优选的是,所述轴被设定为穿过所述单晶的中心。优选的是,所述熔融体内部区域的对流小于其外部区域的对流。 | ||
搜索关键词: | 质量 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种从坩锅内的熔融体生长单晶的方法,该方法包括如下步骤:沿着平行于所述单晶长度方向的轴,从所述晶体与所述熔融体的界面开始,使所述熔融体的温度逐渐上升至最高点,然后逐渐降低至所述坩锅底部,其中,维持所述熔融体的升温温度梯度大于其降温温度梯度。
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