[发明专利]干涉测量系统的自动平衡方法

摘要

本发明是一种干涉测量系统的自动平衡方法，其提供一光学影像干涉测量系统包括光源装置、物镜组、光束导引装置、影像撷取装置、逻辑演算控制单元以及对象平台，该对象平台具有多轴控制的平台且是选择具有两个正交的第一轴向与第二轴向转轴及其控制装置。其方法包括撷取装置撷取待测对象的光学信息且存储该光学信息；以光学信息中的干涉条纹方向做依据，进行对象平台的第一轴向的倾斜量调整，直到干涉条纹调整至所定义的正交方向，以消除第一轴向的倾斜量；以及以光学信息中的干涉条纹扩展方向做依据，进行对象平台之第二轴向的倾斜量调整，直到干涉条纹的纹间隔调整至展开最大，以消除第二轴向的倾斜量。

主权项

1.一种干涉测量系统之自动平衡方法，包括下列步骤：提供一光学影像系统包括光源装置、物镜组、光束导引装置、影像撷取装置、逻辑演算控制单元以及对象平台，其中该光源装置是产生入射光束光源信号的装置；该物镜组包括有干涉物镜以及物镜组焦距调节部；该光束导引装置是一导引光源信号的光学机构；该影像撷取装置是一具有影像撷取部的光学装置；该逻辑演算控制单元具有逻辑演算部、存储部以及控制部；以及该对象平台是具有多轴控制的平台；该对象平台是选择具有两个正交的转轴及其控制装置，且这些正交的转轴包括一第一轴向以及一第二轴向；该逻辑演算控制单元使用控制部，控制该物镜组以调节对焦距离，并控制该影像撷取装置撷取待测对象的光学信息且通过存储部存储光学信息；该逻辑演算控制单元使用逻辑演算部以及控制部，以光学信息中的干涉条纹扩展方向做依据，进行对象平台的第一轴向的倾斜量调整，直到干涉条纹调整至所定义的正交方向，以消除第一轴向的倾斜量；以及该逻辑演算控制单元使用逻辑演算部以及控制部，以光学信息中的干涉条纹方向做依据，进行对象平台的第二轴向的倾斜量调整，直到干涉条纹的纹间隔调整至展开最大，以消除第二轴向的倾斜量。