[发明专利]加速度传感器

摘要

本发明提供一种以简单的构成在不使传感器灵敏度降低的情况下提高耐冲击性的三轴加速度传感器。其是对相互正交的3个轴方向的加速度进行检测的加速度传感器，备有：具有分别与三个轴对应的固定电极的电极基板(5)，将与固定电极对置的一个面作为可动电极的振动板(2)，和安装在振动板(2)的另一个面的中心部上的配重体(1)。基于固定电极与振动板(2)之间的静电电容的变化检测加速度。电极基板(5)设置有覆盖固定电极的表面的驻极体层(4)。

主权项

1.一种加速度传感器，对相互正交的3个轴方向的加速度进行检测，其包括：在一个面上具有固定电极(5c、5b、5a)的电极基板(5)；用于在与该电极基板(5)之间设置规定间隔的间隔件(3)；将经由该间隔件(3)而与前述固定电极(5c、5b、5a)对置的一个面作为可动电极的振动板(2)；设置在该振动板(2)的另一个面的中央部上的配重体(1)；和容纳前述电极基板(5)、前述间隔件(3)、前述振动板(2)及前述配重体(1)的导电性的壳体(10)；其中，基于前述固定电极(5c、5b、5a)与前述可动电极之间的静电电容的变化，对前述3个轴方向的加速度进行检测，其特征在于，前述固定电极(5c、5b、5a)包括：环状的第一固定电极(5c)，其以通过前述配重体(1)的重心并与前述电极基板(5)正交的第一轴为中心；和第二固定电极(5b)及第三固定电极(5a)，它们是直径比前述第一固定电极(5c)大的环状电极被下述分割轴分别二分割而成的电极，所述分割轴在前述电极基板(5)与前述第一轴的交点处相互正交，并且相对于与前述第一轴正交的第二轴及第三轴成45度角，前述电极基板(5)形成有覆盖前述固定电极(5c、5b、5a)的表面的驻极体层(4)。