[发明专利]等离子处理装置与等离子处理的光检测方法

摘要

本发明的主题为一种等离子处理装置和光检测方法，该方法能够检测从多个测量位置得到的多个光学信号，并能够使用装置分析每个测量位置的状态，其中该装置具有更简化的结构的优势。干涉光L1通过光纤222并传输至分光镜部件230。等离子光L2通过光纤224并传输至分光镜部件230。分别对这些光束单独进行分光。通过对干涉光L1分光得到的干涉光光谱L1g通过第一光路226，并照射在光电转换部件240的干涉光感光区域上。通过对等离子光L2分光得到的等离子光光谱L2g通过第二光路228，并照射在光电转换部件240的等离子光感光区域上。

主权项

1.一种等离子处理装置，用于对在处理室内的处理工件进行等离子处理，包括：第一光路，用于传输干涉光，其中通过光照射位于该处理室内的处理工件，在该处理工件的多个表面反射而得到该干涉光；第二光路，用于传输在该处理室内形成的等离子所产生的等离子光；分光镜部件，用于对该干涉光和该等离子光进行分光；以及光电转换部件，具有构建为多个光电转换元件的二维阵列的光电转换元件区域，用于将来自该分光镜部件的入射光转化为电荷，以及电荷存储部件，用于存储从该光电转换元件区域转移过来的电荷，其中该光电转换部件的光电转换元件区域还包括：干涉光感光区域，用于对在该分光镜部件处分光的该干涉光感光；以及等离子光感光区域，用于对在该分光镜部件处分光的该等离子光感光，其中将由该等离子光光电转化得到的电荷群按时间划分区域，并存储在该电荷存储部件中，并且在由该等离子光光电转化得到的那些电荷群中，在一个时间区域期间产生存储在该电荷存储部件中的电荷群的该光电转换元件的行数，与在另一个时间区域期间产生存储在该电荷存储部件中的电荷群的该光电转换元件的行数不同。