[发明专利]显示装置的制造方法和显示装置的制造装置

摘要

本发明的目的在于提供一种可以保持蚀刻的一致性并进行高可靠性蚀刻的显示装置的制造方法和制造装置。在本发明的显示装置的制造方法中，在一对电极间产生电场，在至少在表面含有铝的下部电极(2)上的绝缘性基板(3)的表面所形成的绝缘膜上形成接触孔，其特征在于，包括：在上述下部电极(2)上，包围设置了上述绝缘性基板(3)的区域的外周部被绝缘材料所覆盖，在该状态下，在上述绝缘膜上形成接触孔的工序。

主权项

1.一种显示装置的制造方法，至少包括：在绝缘性基板表面形成金属图案的工序；在所述金属图案上形成绝缘膜的工序；在所述绝缘膜上形成感光性树脂图案的工序；和以所述感光性树脂膜为掩模，在所述绝缘膜上形成接触孔的工序，其特征在于：所述接触孔的形成方法是一种在相对置的一对电极间，至少在表面上含有铝的一个电极上设置了绝缘性基板后，使所述一对电极间产生电场的干法蚀刻方法，并且包括如下工序：在所述一个电极上，包围设置了所述绝缘性基板的区域的外周部，在被绝缘材料覆盖的状态下，在所述绝缘膜上形成接触孔。