[发明专利]微机电系统无效
| 申请号： | 200510083122.2 | 申请日： | 2005-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN1895992A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 戴恩光;曹岱宗 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 陈美章 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电系统，包括基底、实施器和螺旋双环结构，所述的螺旋双环结构的一端固定在所述的基底上，另一端和所述的执行器固定连接，且所述的螺旋双环结构与基底之间可产生电压。其特征是利用螺旋双环结构提供稳定的支撑，以微小的电压提供静电力驱动来实现大尺度平动。构成螺旋双环结构的双层或多层驱动膜片的制造工艺简单易行，结构参数和工艺参数均可以在很大范围内进行调整。另外条形薄板的环转设计可以使整个系统最大限度地压缩到一个平面内，从而有效地节约了空间。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
【主权项】：
1、一种微机电系统，包括基底、实施部件和螺旋双环结构，所述的螺旋双环结构的一端固定在所述的基底上，另一端和所述的实施部件固定连接，且所述的螺旋双环结构与基底之间可产生电压。
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