[发明专利]用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪

摘要

本发明公开了一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统，包括：(1)安装到台的测量脊镜(例如波罗棱镜)，所述台可以沿所述第一方向平移；(2)偏振束分光器，其具有(a)与所述测量脊镜相对的第一表面和(b)与所述第一表面相反的第二表面；(3)位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片；和(4)与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜。通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。

主权项

1.一种系统，用于测量沿第一方向的位移，包括：安装到台的测量脊镜，所述台可以沿所述第一方向平移；偏振束分光器，其包括与所述测量脊镜相对的第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片，其中所述第一波片至少部分地跨越所述偏振束分光器的所述第一表面而延伸；与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜，其中通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。