[发明专利]具有RFID标签或者放大电极的RFID芯片无效
申请号: | 200510055427.2 | 申请日: | 2005-03-17 |
公开(公告)号: | CN1677632A | 公开(公告)日: | 2005-10-05 |
发明(设计)人: | 谏田尚哉;皆川圆;井上康介;本间博 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/607;G09F3/02;G06K19/07 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张敬强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在利用超声波使半导体芯片(RFID芯片)接合在压延金属箔等构成的天线上来形成RFID标签时,抑制施加在半导体芯片上的压力,避免对该半导体芯片产生损坏。因此,本发明提供一种RFID标签,把半导体芯片上设置的金突起压接在天线元件上,通过施加超声波使该金突起与金属箔接合,在该金属箔上形成光泽度低的无泽面,或者在该金属箔上形成压延条痕浅的面,使该面与该金突起接合。 | ||
搜索关键词: | 具有 rfid 标签 或者 放大 电极 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种RFID标签,具有金突起的半导体芯片压接在压延金属箔上,通过施加超声波接合该金突起与该金属箔,其特征在于:在所述金属箔具有光泽度低的无泽面情况下,接合所述金突起与无泽面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造